К списку

Инженерные системы

Система вентиляяции и кондиционирования

Система вентиляции и кондиционирования используется для подачи чистого воздуха в объеме, необходимом для поддержания заданного уровня чистоты помещения. Избыточное давление в чистой зоне предотвращает попадание загрязнений из смежных помещений. Воздушные потоки в чистых помещениях организуются таким образом, чтобы избежать образования застойных зон, где могут оседать и накапливаться частицы пыли. Воздух также должен быть подготовлен по температуре и влажности в соответствии с требованиями микроклимата помещения.

Вытяжные системы

Органическая вытяжка - система очистки воздуха, содержащего пары органических растворителей, большей частью от оборудования, использующего в процессе технологические газы. Основное оборудование системы - скруббер. Корпус выполняется из нержавеющей стали. Рабочее пространство внутри скруббера заполнено сотами с активированным углем, который и выполняет функцию очистки - абсорбирует органические загрязнения.

Кислотная вытяжка - система очистки воздуха, содержащего пары кислот - от технологического и инженерного оборудования (например, печи для нанесения пленок), использующего в процессе плавиковую, соляную, серную и т.п. кислоты. Очистка происходит за счет нейтрализации паров кислоты водным раствором щелочи.Непосредственно нейтрализация происходит в скруббере. Для того, чтобы сделать процесс эффективным и надежным, раствор щелочи распыляют во внутреннем рабочем пространстве. Для увеличения поверхности взаимодействия кислотного и щелочного растворов используются специальные кольца. Ими заполняют рабочую камеру и беспорядочно наваленные кольца создают большую границу для взаимодействия кислоты и щелочи.

Щелочная вытяжка - система очистки воздуха, содержащего пары щелочи. Она идентична кислотной, и работает точностью до наоборот.Компания Троник проектирует систему в соответствии с нормами ПДК, установленными региональным законодательством. В случае аварийной ситуации или отключения энергоснабжения система продолжит свою работу для обеспечения безопасности персонала и соблюдения ПДК выбросов в атмосферу.В системе очистки воздуха используются также, так называемые, локальные скрубберы - для очистки выбросов оборудования, использующего специальные газы - токсичные, гидридные, огневзрывоопасные. После технологического процесса остаются частично не прореагировавшие газы или продукты их взаимодействия. Эти вещества дожигаются в высокой температуре и фильтруются через воду. Продукты дожигания остаются в воде, воздух направляется для дальнейшей очистки в скрубберы. Вода направляется в систему очистки стоков.

Система электроснабжения

При устройстве чистых помещений большое внимание уделяется безопасности систем электроснабжения и автоматики. Вся документация выполняется в соответствии с действующими нормативными документами (ГОСТ, СНиП, РД, СанПиН, ПУЭ). Проектирование системы выполняется с учетом требований заказчика и с учетом технологических особенностей оборудования, а так же с учетом экономических требований. Экономия энергии возможна, например, за счет согласованного отключения системы регулирования температуры и влажности, оптимизации требований к поддержанию этих параметров, а также за счет уменьшения расхода воздуха в нерабочие периоды. Однако, если система выключается, следует учесть опасность недопустимого загрязнения помещения. В этом случае указывают время, необходимое для восстановления параметров чистого помещения.

Система освещения

Требуемая освещенность и ее равномерность в различных частях чистого помещения должны быть заданы с указанием методов обеспечения в соответствии с ГОСТ 14644-4а. Цвет светового потока может быть определен заказчиком, поскольку он имеет существенное значение для комфорта персонала и выполняемых процессов, особенно процессов фотолитографии. Система освещения должна быть совместима с эффективной экс плуатацией чистого помещения. Применяются герметичные светильники или светильники без выступов. При однонаправленном потоке воздуха конструкция и расположение светильников должны исключить или свести к минимуму его турбулентность. Светильники должны быть удобными для обслуживания, герметичными и не вносить загрязнения. Должен быть принят во внимание эффект бликов от поверхностей с учетом выполняемой работы.

Система магистрального газоснабжения основными технологическими газами (азот, кислород, водород, аргон)

Магистральное газоснабжение основными технологическими газами такими, как общий азот (GN2), очищенный азот (PN2), очищенный кислород (РО2), очищенный водород (РН2), очищенный аргон (РАг), очищенный гелий (РНе) служит для обеспечения технологических процессов. Каждая система состоит из узлов системы распределения и очистки. Обеспечение технологическими газами осуществляется от генераторов азота, водорода и кислорода.

Генератор общего n2
Генераторы общего азота, применяемые компанией «Троник», извлекают из воздуха азотный газ методом отделения азота от кислорода с адсорбцией последнего - (PSA). Данные системы отличают высокая надежность и компактность. Уровень чистоты азота варьируется в зависимости от проектных параметров от 99.9% до 99.9999%

Генератор общего водорода/ кислорода н^о,
Принцип работы генератора Н2/О2 основан на электролизе воды. При малых габаритных размерах, обеспечивают до 12 мЗ/час общего водорода с качеством 99.9998% и до 6 мЗ/час общего кислорода с качеством 99.999%. Разработка, производство, сборка и тестирование генераторов производиться в соответствии со стандартами качества ISO 9001:2000, что гарантирует надежную работу оборудования и качество, получаемых газов.

Системы распределения химических реактивов

Системы распределения химических реактивов в первую очередь должны обеспечивать высокий уровень надежности и безопасности, отвечая при этом высоким стандартам стабильности, экологичности и автоматизации. Химические реактивы подаются к установкам потребителям по трубопроводам по методу «труба в трубе». Межгрубное пространство заполняется азотом. Поскольку в производстве могут применяться, в том числе, опасные химические реактивы, компания «Троник» строго следует технологиям и правилам безопасности при производстве работ. Система распределения химических реактивов имеет высокий уровень надежности, благодаря системе контроля и мониторинга и двухуровневой системе обнаружения утечек. Все это гарантирует высокий уровень безопасности работы персонала.

Система очистки стоков

При производстве полупроводниковых приборов во время технологического процесса, вырабатывается большое количество сточных вод различного химического состава. Для нейтрализации пагубного влияния сточных вод на окружающую среду и соответствия стоков нормам местного ПДК, компания, Троник разрабатывает и проектирует новейшие системы очистки после процессов литографии, травления, металлизации и очистки пластин. Различные составляющие стоков очищаются в специально предназначенных для них подсистемах для обеспечения высокой эффективности очистки и соответствия требованиям по содержанию хим. веществ.

Основные, подсистемы очистки:

Система очистки высоко- и низко-концентрированных фторсодержащих сточных вод
Система очистки кислой и щелочной сточной воды
Система очистки аммиачной сточной воды
Система выпаривания
Система специальной очистки сточных вод

Данная система может быть спроектирована с учетом возврата до 100% очищенной сточной воды в производство.

Система подготовки деионизованной воды

Высокое качество воды обеспечивается за счет каскадного (модульного) принципа построения системы очистки воды и использования самых передовых методов обработки воды. Современные системы получения ультрачистой воды для микроэлектроники предусматривают многостадийный процесс, обеспечивающий максимальное качество получаемой воды. Системы очистки воды для микроэлектроники проектируются, комплектуются и изготавливаются с учетом требований стандартов SEMI и состава исходной воды. В системе подготовки ДИВ применяются наиболее совершенные методы очистки: двухстадийный обратный осмос, двухстадийное ультрафиолетовое окисление, двухстадийная мембранная дегазация, электродеионизация.

Система обеспечения сжатым воздухом

Данная система служит для обеспечения технологических процессов сжатым сухим, чистым воздухом. TRONIC поставляет новое поколение безмасляных винтовых компрессоров, сочетающих в себе широкой диапазон давлений и более высокую производительность с меньшим расходом энергии. Малая вибрация и высокая степень интеграции гарантируют безотказную работу на долгое время. Редуцирование давления сжатого воздуха осуществляется на газовых панелях, спроектированных и произведенных в соответствии с требованиями технологического оборудования. Очистка от примесей и микрочастиц производится с помощью очистителей и фильтров в соответствии со схемами очистки. Для подачи сжатого воздуха используются трубы из нержавеющей стали 316L с ЭХП внутренней поверхности.

Система обеспечения вакуумом
технологического оборудования

Автоматизированная система
контроля и управления

Автоматизации подлежат системы обеспечения температурно-влажностного режима и чистоты воздуха в чистых помещениях (ЧП). Объектами автоматизированного контроля являются параметры микроклимата ЧП. В контролируемых объектах обеспечивается измерение, оперативное представление, протоколирование и архивирование параметров микроклимата: температуры, относительной влажности, чистоты воздуха и перепада давлений между смежными помещениями различного класса чистоты.

Автоматическая пожарная
сигнализация (апс)

Проектирование АПС требует специальных знаний и опыта. Грамотно выполненный проект и оптимальное техническое решение позволит не только обеспечить противопожарную безопасность объекта, но и минимизировать расходы на установку АПС. Важным моментом при составлении проекта АПС является возможность модернизации или наращивания системы в будущем. Проект АПС должен соответствовать требованиям нормативных документов. Проектирование АПС подлежит обязательному лицензированию. Все этапы проектирования автоматической пожарной сигнализа

Система контроля качества
и безопасности работ

Система контроля качества обеспечивается комплексом технических и организационных мер контроля на всех стадиях производства работ.Заранее продумывая процесс производства/строительства, соответствующие службы организовывают функционирование многих составляющих элементов системы, начиная от входного контроля материалов. В соответствии с планом производства работ осуществляются авторский надзор, приемка, освидетельствование скрытых работ с обязательным внесением соответствующих записей в журнал производства работ.
Неотъемлемой составляющей системы контроля качества являются меры по обеспечению безопасных (по возможности комфортных) условий труда. Кроме непосредственно средств безопасности труда, таких как огнетушители, очки, маски, пояса монтажников и т.п., необходимо обеспечить регулярное проведение инструктажей по технике безопасности, пожарной безопасности, на рабочем месте, аттестацию персонала, выдачу допусков к производству работ и многое другое. Перечисленные меры (не ограничиваясь) являются составляющими системы контроля качества работ. Очевидно, что для эффективной работы системы необходимо слаженное взаимодействие служб приемки, безопасности, проектировщиков, технологов, инженеров.