ФАЛЬШПОЛ
Материалы лучших мировых производителей, отвечающие требованиям SEMI
Панели сплошные
|
Серия
|
Алюминий
|
Магний
|
|
Материал покрытия
|
Проводящий винил
|
|
Характеристики электропроводности покрытия
|
Проводимость: 104~106 Ω Антистатичность: 5 x 106~5 x 108Ω
|
|
Материал панели
|
Отлитый под давлением алюминий
|
Отлитый под давлением магний
|
|
Распределенная нагрузка
|
800 кгс/м2 – 3000 кгс/м2
Прогиб?1.0 мм
|
800 кгс/м2 – 2200 кгс/м2
Прогиб?1.0 мм
|
|
Концентрированная нагрузка
|
300 кгс/6.45 см2 – 2500 кгс/6.45 см2
Прогиб ?2.0 мм
|
300 кгс/6.45 см2 – 1200 кгс/6.45 см2
Прогиб ?2.0 мм
|
|
Максимальная нагрузка
|
600 кгс/6.45 см2 – 5000 кгс/6.45 см2
|
600 кгс/6.45 см2 – 2400 кгс/6.45 см2
|
|
Погрешность размеров
|
600 + 0.00 мм / 600 - 0.20 мм
|
|
Погрешность толщины покрытия
|
± 0.10 мм
|
|
Отклонение плоскостности
|
± 0.20 мм
|
|
Отклонение по диагонали
|
Maкс 0.50 мм
|
|
Наружное покрытие
|
Эпоксидное или Ni-Cr металлизация
|
Панели перфорированные
|
Серия
|
Алюминий
|
Магний
|
|
Материал покрытия
|
Проводящий винил
|
|
Характеристики электропроводности покрытия
|
Проводимость: 104~106 Ω Антистатичность: 5 x 106~5 x 108Ω
|
|
Материал панели
|
Отлитый под давлением алюминий
|
Отлитый под давлением магний
|
|
Распределенная нагрузка
|
500 кгс/м2 – 2000 кгс/м2
Прогиб ?1.0 мм
|
500 кгс/м2 – 1450 кгс/м2
Прогиб ?1.0 мм
|
|
Концентрированная нагрузка
|
250 кгс/6.45 см2 – 2200 кгс/6.45 см2
Прогиб ?2.0 мм
|
250 кгс/6.45 см2 – 1000 кгс/6.45 см2
Прогиб ?2.0 мм
|
|
Максимальная нагрузка
|
500 кгс/6.45 см2 – 4400 кгс/6.45 см2
|
500 кгс/6.45 см2 – 2000 кгс/6.45 см2
|
|
Погрешность размеров
|
600 + 0.00 мм / 600 - 0.20 мм
|
|
Погрешность толщины покрытия
|
± 0.10 мм
|
|
Отклонение плоскостности
|
± 0.20 мм
|
|
Отклонение по диагонали
|
Max 0.50 мм
|
|
Процент перфорации
|
17% – 50%
|
|
Наружное покрытие
|
Эпоксидное или Ni-Cr металлизация
|
Аксессуары
Спецификация
|
|
Стойки
|
Направляющий профиль
|
Опорная головка
|
|
Размер
|
Ø 26,8 – 76 мм
Высота по требованию заказчика
|
25 x 25 x 558 мм
25 x 14 x 558 мм, Толщина: 1 мм
|
M16 3/4” M16 1”
|
|
Покрытие
|
Эпоксидное или гальваническое
|
Эпоксидное
|
Цинковое гальваническое
|
ФУНДАМЕНТЫ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ
|
Модель
|
Амплитуда вибраций
|
Размер детали
(μ м)
|
Применение
|
Тип
|
Вес
|
Размер
|
|
μ дюйм/с
|
μ м/с
|
dB
|
|
VC-A
|
2000
|
50
|
66
|
8
|
Подходит в большинстве случаев для оптических микроскопов до 400, микро- и оптических весов, установок экспонирования и фотолитографии
|
ü Стальная конструкция
ü Устанавливается на бетонное основание
|
1 – 5 т
5 – 10 т
10 – 30 т
30 – 100 т
……
|
ü Длина
2 – 4 м
ü Ширина
2 – 3,5 м
ü Высота
0,5 – 2 м
& 2 – 3 м
|
|
VC-B
|
1000
|
25
|
60
|
3
|
Контрольное и литографическое оборудование (включая степперы) до 3 мкм линейного допуска.
|
|
VC-C
|
500
|
12,5
|
54
|
1
|
Оптические микроскопы до 1000, контрольное и литографическое оборудование, электронные микроскопы средней чувствительности, процессы совмещения и сканирования TFT - LCD
|
|
VC-D
|
250
|
6
|
48
|
0,3
|
Сканирующие и просвечивающие электронные микроскопы, электронно-лучевые системы
|
|
VC-E
|
125
|
3
|
42
|
0,1
|
Наиболее чувствительные системы, такие - как лазерные, электронно-лучевые литографические, работающие в нано-измерении, предъявляющие сверхвысокие требования к динамической стабильности
|